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真空烧结炉有哪些应急措施？
真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。
一、停电
1、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。
2、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。
3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。
二、加热电源掉电
1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。
2、接地故障。
3、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处须要连接牢固，与反射屏绝缘要好。
4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。
三、充气气体停止
1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。
2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。
3、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。
4、确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。
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